| 摘要 本发明为一种电子工业用氧化锆窑具及制造方法，是以电熔氧化锆原料为基，加入氧化钙，氧化钇为稳定剂，经电弧炉煅烧，然后经球磨、振磨、干压或注浆成型，干燥后在1550℃-1650℃烧成为本发明产品，以所加的稳定剂不同有两种组成不同产品，用氧化钙为稳定剂时，ZrO290-95%, CaO3.5-4.5%；以氧化钇为稳定剂时，窑具的化学组成为ZrO288-93％，Y2O36-10%,此外，两种产品中各有TiO20.1-0.4％, Al2O30.4-1.2%, SiO20.4-1.2%, Fe2O3<0.2%。 申请人 田维 地址 526060广东省肇庆市端州三路翠岗工业区A栋 |
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